GB/T 14264-2009 半导体材料术语
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- 标准类型：国家标准
- 标准语言：简体标准
- 授权形式：免费标准
- 文件类型：PDF格式
- 安全检测：瑞星、江民、卡巴、可牛：安全
- 更新时间：2015-10-11
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资料介绍
标 准 编 号：GB/T 14264-2009
简体中文标题：半导体材料术语
繁體中文標題：半導體材料術語
English Name：Semiconductor materials—Terms and definitions
标准简介：
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。