GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
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- 标准类型:国家标准
- 标准语言:简体标准
- 授权形式:免费标准
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- 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
- 更新时间:2015-10-11
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- 标签:真空技术
资料介绍
标 准 编 号:GB/T 25755-2010
简体中文标题:真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
繁體中文標題:真空技術 濺射離子泵 性能參數的測量
English Name:Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics