GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
- 文件大小：1.6MB
- 标准类型：国家标准
- 标准语言：简体中文
- 授权形式：免费标准
- 文件类型：PDF格式
- 安全检测：瑞星、江民、卡巴、可牛：安全
- 更新时间：2015-10-11
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资料介绍
标准编号：GB/T 16942-2009
简体名称：电子工业用气体 氢
繁体名称：電子工業用氣體 氫
英文名称：Gas for electronic industry—Hydrogen
标准简介：
本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。