GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
- 文件大小：1.8MB
- 标准类型：国家标准
- 标准语言：简体中文
- 授权形式：免费标准
- 文件类型：PDF格式
- 安全检测：瑞星、江民、卡巴、可牛：安全
- 更新时间：2015-10-11
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资料介绍
标准编号：GB/T 16945-2009
简体名称：电子工业用气体 氩
繁体名称：電子工業用氣體 氬
英文名称：Gas for electronic industry—Argon
标准简介：
本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。