GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
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- 标准类型：国家标准
- 标准语言：简体中文
- 授权形式：免费标准
- 文件类型：PDF格式
- 安全检测：瑞星、江民、卡巴、可牛：安全
- 更新时间：2015-10-11
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资料介绍
标准编号：GB/T 19921-2005
中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces
标准介绍：
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。