GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶
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- 标准类型:国家标准
- 标准语言:简体中文
- 授权形式:免费标准
- 文件类型:PDF格式
- 安全检测:瑞星、江民、卡巴、可牛:安全
- 更新时间:2015-10-10
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资料介绍
标准编号:GB/T 29504-2013
中文名称:300mm 硅单晶
英文名称:300 mm monocrystalline silicon
标准介绍:
本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm 及以下技术需求的300mm 硅单晶抛光片。